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6"25槽制程用晶舟

制程用晶舟适用于制程间晶圆的传送,与晶舟盒搭配可存储和运输晶圆片。产品尺寸符合适配业内主流规范,也可依照客户要求进行定制化设计。

6"25槽制程用晶舟

- 静电耗散,避免晶圆受到静电损害
- 超低气体释放
- 超低杂质含量
- 耐磨可保护晶圆
- 耐高温制程